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光刻機(jī)

光刻機(jī)

光刻機(jī)是用來制造芯片的。光刻機(jī)又被叫作掩膜對準(zhǔn)曝光機(jī)，在芯片生產(chǎn)中用以光刻工藝，而光刻工藝又是生產(chǎn)流程中最關(guān)鍵的一步，所以光刻機(jī)又是芯片生產(chǎn)中不可缺失的裝置。以我國現(xiàn)在的實(shí)力當(dāng)然有能力生產(chǎn)光刻機(jī)。不過，目前中國能夠量產(chǎn)的光刻機(jī)性能最好的是90nm光刻機(jī)，和荷蘭ASML公司最先進(jìn)的5nm光刻機(jī)仍具有極大的區(qū)別。

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